首先來說X 射線熒光光譜法，簡稱：X熒光光譜法 是一種原子發(fā)射方法，類似于光發(fā)射光譜 (OES)、ICP 和中子活化分析（伽馬光譜）。 此類方法可以測量由樣品中的帶電原子發(fā)出的“光線”（此情況下為 X 射線）的波長和強(qiáng)度。 在 XRF 中，來自 X 射線光管主 X 射線光束的輻照會使熒光 X 射線的輻射呈現(xiàn)出樣品中所存在元素的分散能量特征。
X 射線熒光光譜法結(jié)合了高精度和準(zhǔn)確性以及簡便、快速的樣品制備等優(yōu)點(diǎn)。 它可以在要求實(shí)現(xiàn)高處理量的工業(yè)環(huán)境下自動(dòng)完成使用準(zhǔn)備，并且提供定性和定量的樣品相關(guān)信息。 這種定性和定量信息的輕松組合還使快速篩選（半定量）分析成為可能。
X 射線熒光光譜法其工作原理是X射線管通過產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），來激發(fā)被測樣品。 受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線（又叫X熒光），并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量或者波長。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。 元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷，同時(shí)發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線，因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是X 射線熒光光譜法定性分析的基礎(chǔ)。此外,熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系，據(jù)此，可以進(jìn)行元素定量分析。
由以上基礎(chǔ)延伸出的X熒光光譜儀主要由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。用X射線照射試樣時(shí)，試樣可以被激發(fā)出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的X射線的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X熒光光譜儀。由于X熒光具有一定波長，同時(shí)又有一定能量。X射線管的靶材和管工作電壓決定了能有效激發(fā)受激元素的那部分一次X射線的強(qiáng)度。管工作電壓升高，短波長一次X射線比例增加，故產(chǎn)生的熒光X射線的強(qiáng)度也增強(qiáng)。但并不是說管工作電壓越高越好，因?yàn)槿肷鋁射線的熒光激發(fā)效率與其波長有關(guān)，越靠近被測元素吸收限波長，激發(fā)效率越高。