2、當電子撞出軌道，他們留下的空位，使原子不穩(wěn)定。原子必須立即被填充來糾正這個不穩(wěn)定，這些空位可以由更高的軌道上的電子移動到一個較低的軌道。例如，如果一個電子轉(zhuǎn)移從原子內(nèi)層（最接近核），從下殼體的一個電子可以向下移動，以填補空缺。這就是熒光。
3、X射線束打在樣品表面的原子殼上，電子被激發(fā)后從原子殼內(nèi)層軌道發(fā)生位移，這種位移的發(fā)生是由于從分析儀發(fā)出的X-射線束與在適當?shù)能壍辣３蛛娮咏Y合能發(fā)出的能量差；當X射線束的能量高于電子結合能就會發(fā)生位移。在原子中，電子以特定的能量固定在特定的位置，這就決定了它們的軌道。此外，一個原子軌道殼之間的間距是每個元素的原子的獨特之處，所以，原子鉀（K）與金（Au），或銀（Ag）相比具有不同的電子層之間的距離。??
5、離原子核越遠的電子，逃逸的能量越高。因此，當電子從較高電子層到靠近原子核的電子層時，要損失一些能量。損失的能量數(shù)與兩個電子層間的能量差相等，由兩個電子層的距離決定。對每個元素來說，兩個軌道間的距離是唯一的，如上所述。??